Shack-Hartmann 波前传感器
ＳＩＤ４ ＵＶ－ＨＲ（紫外光）
SID4 UV-HR
基于相位的专利技术, 在190纳米到400纳米波段，SID4 UV-HR波前分析仪（在紫外光谱范围内）具有超高的分辨率(250 x250)和极高的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……);
主要特点
．超高分辨率 ２５０×２５０
．高灵敏度 ０．５ｎｍ RMS
．大型分析孔 ８．０×８．０ｍｍ
.可以直接对光学器件表面进行测量
推荐用途
．紫外激光器：光束的测量和校正
．光学：紫外线光学（半导体）测试和表面测量。
ＳＩＤ４ ＵＶ－ＨＲ的详细规格
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ＳＩＤ４ UV-HR
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单位
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数据
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波长范围
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nm
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190-400
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框口尺寸
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mm^2
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8.0*8.0
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空间解析度
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Um
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32
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相位和强度抽样
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250*250
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分辨率
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nmRMS
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0.5
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精密度
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nmRMS
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10
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采集率
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fps
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>30
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实时处理频率
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fps
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1
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规模(w*h*l)
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mm
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95*105*84
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重量
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g
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900
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