Shack-Hartmann 波前传感器
Shack-Hartmann (SH) 波前传感器在自适应光学中广泛使用。它的基本原理是把波前划分为若干个子孔径,在各个子孔径上分别测量两个正交方向上的波前偏导值,即波前斜率,然后根据子孔径上的波前斜率进行波前复原计算,得到整孔径上的波前位相.
PHASICS提供世界zui高分辨率的波前传感器，专利技术产品--4波横向剪切干涉，是在哈特曼基础上的进一步测试优化，这种技术可以直接测量以绝佳的分辨率和高动态可调范围，可以测量任意波前。此项革新性的技术及产品已经被越来越多的行业所应用，其产品可用于激光光束质量分析，光学产品的EFL,曲率半径、MTF、PSF等各项指标的测量
1. SID4 visible &SID4 HR（可见光）
SID4（visible）波前分析仪可以同时对相位和强度进行测量，而且具有非常高的分辨率 (160x120)，SID4 HR波前分析仪拥有更高分辨率(400 x300)。基于相位的专利波前传感技术,它具有高分辨率，大动态以及更好的易用性。
主要特点
.高分辨率 160*120（SID4 visible）400*300（SID4 HR）
. 对发散或者平行光束均可以直接测量
.在400-1100nm范围消色差
.自我参照 对振动不敏感，容易调整
推荐用途
激光：激光测量，适应光学仪器
光学：镜头测试，表面测量
生物学：适应光学显微镜
SID 4 详细规格
.
|
ＳＩＤ４ （可见光） |
ＳＩＤ４ ｖｉｓｉｂｌｅ |
ＳＩＤ４ ＨＲ |
单位 |
|
波长范围（ｎｍ） |
４００～１１００ |
４００～１１００ |
nm |
|
孔径尺寸 |
３．６＊４．８ |
８．９×１１．８ |
mm^2 |
|
空间分辨率 |
２９．６ |
２９．６ |
um |
|
相位和强度抽样 |
１６０＊１２０（＞１９０００） |
３００＊４００（＞１２００００） |
points |
|
分辨率 |
＜２ |
＜２ |
nmRMS |
|
精密度 |
１０ |
１５ |
nmRMS |
|
动态范围 |
＞１００ |
＞５００ |
um |
|
采集率 |
＞１００ |
＞３０ |
fps |
|
实时处理频率 |
＞１０ |
＞３ |
fps |
|
计算机连接 |
Ｇｉｇａ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ |
Ｇｉｇａ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ |
|
|
规模（w*h*l ｍｍ）＿ |
５４＊４６＊７５．４ |
５４＊４６＊７９ |
mm |
|
重量（ｇ） |
～２５０ |
～２５０ |
g |
２．ＳＩＤ４ ＵＶ－ＨＲ（紫外光）
SID4 UV-HR
基于相位的专利技术, 在190纳米到400纳米波段，SID4 UV-HR波前分析仪（在紫外光谱范围内）具有超高的分辨率(250 x250)和极高的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……);
主要特点
．超高分辨率 ２５０×２５０
．高灵敏度 ０．５ｎｍ RMS
．大型分析孔 ８．０×８．０ｍｍ
.可以直接对光学器件表面进行测量
推荐用途
．紫外激光器：光束的测量和校正
．光学：紫外线光学（半导体）测试和表面测量。
ＳＩＤ４ ＵＶ－ＨＲ的详细规格
|
ＳＩＤ４ UV-HR |
单位 |
数据 |
|
波长范围 |
nm |
190-400 |
|
框口尺寸 |
mm^2 |
8.0*8.0 |
|
空间解析度 |
Um |
32 |
|
相位和强度抽样 |
|
250*250 |
|
分辨率 |
nmRMS |
0.5 |
|
精密度 |
nmRMS |
10 |
|
采集率 |
fps |
>30 |
|
实时处理频率 |
fps |
1 |
|
规模(w*h*l) |
mm |
95*105*84 |
|
重量 |
g |
900 |
3.SID4 DWIR & SID4 LWIR-640 & SID4 IR-MCT(红外光)
a.基于专利技术的SID4 DWIR是一个独特的波前分析仪，它覆盖中红外波段和远红外波段(3-5um& 8- 14um),
对于MWIR和LWIR，它提供了高分辨率的测量(160 x 120)范围，完全适合红外目标，
镜头测试或光束测量的红外激光器(二氧化碳、光参量来源…);
SID4 LWIR
b.SID4 LWIR是一个超高分辨率波前传感器，在长波红外区域(8-14um)相位的专利技术以及非制冷焦平面阵列技术使它简洁且易于使用,
因此很容易集成到光具座，远红外线镜头测试或激光光束测量链(二氧化碳激光器, LWIR来源……)。
SID4
IR-MCT
c.这种独特的波前分析仪拥有极高分辨率和超高灵敏度，并且它在短波红外成像的范围从1.2um到5.5um，因此它完全适在低光红外源,如以黑体或镜头为目标的测试或红外光谱的激光光束测量。
主要特点及推荐应用
a. SID 4 DWIR
特点
高分辨率 160*120
双频 MWIR&LWIR波段
消色差 兼容黑体
高数值孔径测量 没有中继透镜
应用
1. 光学测量, SID4 DWIR在描述红外目标(热成像和安全愿景)，红外镜头(CO2激光器)，MTF,PSF,以及Zernike畸变是非常完美的工具，它也可测试多个波长可能存在的色差
2. 在表征激光束的CO2激光器或红外激光源，SID4 DWIR提供了一个全面的光束特性(畸变,M²,强度剖面图,光束参数…)
b．SID4 LWIR
特点
高分辨率 160*120
消色差 8-14um
超长波段 1.2-5.5um
高数值孔径测量 没有中继透镜
便于集成
应用
1.对于光学计量,SID4 LWIR是一种独特的工具，用来描述光学的红外热成像,安全性或安全愿景等，并且它也是组成CO2激光器的光学部件，它提供了MTF和畸变。由于它的简洁性，因此可以在工作台或者生产线上进行简单的集成。
2.在激光计量方面,SID4 LWIR给出了全面的光束特性(M²,Strehl radio,强度剖面图,光束参数…)。它适用于远红外线光束测量如CO2激光器,LWIR光参量激光器等
c. SID4 IR-MCT
特点
超高灵敏度 3nm RMS@3uW/cm^2
高分辨率 160*128
即使在低通量条件下依然具有高精确度
超长波段 1.2-5.5um
高数值孔径测量 在F/1前没有中继透镜
上一代冷却MCT探测器
应用
1. 对于光学计量,SID4 IR-MCT是一种独特的工具，用于描述红外目标或镜头MTF以及畸变和WFE。其高灵敏度也可以和黑体一起进行高光谱测试
2. 在激光计量方面,在低红外光范围，量子级联激光器或红外光谱激光器，SID4红外是现有唯一的工具。它提供了一个完整的光束特征参数(畸变,M²,强度剖面图,光束参数……)
具体详细参数
|
参数 |
单位 |
SID4 DWIR |
SID4 LWIR |
SID4 IR-MCT |
|
波长范围 |
um |
3-5and8-14 |
8-14 |
1.2-5.5 |
|
孔径尺寸 |
mm^2 |
10.88*8.16 |
16*12 |
9.60*7.68 |
|
最大孔径 |
mm^2 |
|
|
F/1 |
|
空间分辨率 |
um |
68 |
100 |
60 |
|
精确度 |
nm RMS |
75 |
75 |
|
|
相位和强度抽样 |
|
160*120 |
160*120 |
160*128 |
|
灵敏度 |
nm RMS@uW/cm^2 |
25nm RMS |
25nm RMS |
3nm RMS@3uW/cm^2 |
|
动态范围 |
um |
|
|
300 |
|
采集率 |
fps |
50 |
24 |
140 |
|
实时处理频率 |
fps(full resolution) |
10 |
10 |
20 |
|
检测技术 |
|
|
|
Cooled MCT |
|
规格(w*h*l) |
mm |
85*115*193 |
96*110*90 |
135*140*240 |
|
重量 |
kg |
~1.6 |
~0.85 |
~3.5 |
