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氮分子激光器
氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm三个波长。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
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参数
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NPL-3
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LGI-505
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LGI-511
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波长, μm
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0.337
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0.337
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0.337
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脉冲能量, μJ
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30
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120
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240
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平均功率, mW
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3
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120
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240
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光束直径, mm
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2
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5
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5
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脉冲重复频率:
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1-100
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5-1000
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1 -1000
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脉冲宽度, ns
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5±1
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8 ±2
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8 ±2
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尺寸, mm
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350x325x150
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484x510x215
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1140x525x345
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重量, kg
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10
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35
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105
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电压, V
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220
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220
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220
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功率消耗, w
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50
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1200
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1500
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制冷方式
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风冷
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水冷
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水冷
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工作温度, OC
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0...+40
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0...+40
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+10...+40
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质保工作时间, h
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500
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1000
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500
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